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Aligment on the fly
Artikelnummer
Aligment on the fly
- Waferzentrierung ohne Prealigner
- Offset-Erfassung und -Zentrierung während der GET- oder PUT-Bewegung des Roboters
- keine Ausrichtstation notwendig
- zeitsparende Waferzentrierung
Aligment on the fly
- Waferzentrierung ohne Prealigner
- Offset-Erfassung und -Zentrierung während der GET- oder PUT-Bewegung des Roboters
- keine Ausrichtstation notwendig
- zeitsparende Waferzentrierung
ROBOTIK Allgemein/Generally
(Größe: 4.8 MB)
Last update 2024/03/08
