IWH Serie 1 mit 2-Link-HD-Arm und Serie 1 Grundkörper

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Wafer-Handler der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verchiedene Grundkörper von 7" bis 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 kg möglich.

Merkmale

• Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
• Höchste Ausfallsicherheit und Präzision
• Optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA)
• Kundenspezifische Anpassungen möglich
• Absolut (digital) oder inkremental Encoder
• Einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung
• Optional High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen
• Inklusive Robot Control Center (RCC)
• ISO 1-reinraumkompatibel
• Made in Germany