IWH Serie 3 mit Dual Arm

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Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.

Merkmale

• Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
• Handhabung von Wafern bis zu 300 mm
• höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
• einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
• sehr laufruhig
• spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
• Absolut-, Inkrementelle Encoder oder Resolver
• integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
• inklusive Standard oder Advanced Controller & Software
• ISO 1-reinraumkompatibel
• MTBF: > 50.000 Betriebstunden
• made in Germany