Wafer-Handling Roboter mit SHD-Dual-Arm und Serie SHD-Grundkörper

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Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige.

Merkmale

• Handhabung von Wafern bis zu 450 mm
• höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
• einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
• sehr laufruhig
• spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
• Absolut- Encoder
• integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
• inklusive Advanced Controller & Software
• MTBF: > 50.000 Betriebstunden
• made in Germany