1 tengelyes előigazító "Beágyazott

Jellemzők

Műszaki adatok

Prealigner modell

Önálló

Beágyazott

Élkezelés

26-3

38-3

58-3

312-3

812-3

1218-3

25-1E

38-1E

58-1E

312-1E

812-1E

1218-1E

Típus

Wafer
átmérő

2"

✔

-

-

-

-

-

✔

-

-

-

-

-

3"

✔

✔

-

✔

-

-

✔

✔

-

✔

-

-

100 mm

✔

✔

-

✔

-

-

✔

✔

-

✔

-

-

4EH, 45EH

125 mm

✔

✔

✔

✔

-

-

✔

✔

✔

✔

-

-

5EH, 45EH, 56EH

150 mm

✔

✔

✔

✔

-

-

-

✔

✔

✔

-

-

6EH, 56EH

200 mm

-

✔

✔

✔

✔

-

-

✔

✔

✔

✔

-

8EH, 8ET

300 mm

-

-

-

✔

✔

✔

-

-

-

✔

✔

✔

12ET

450 mm

-

-

-

-

-

✔

-

-

-

-

-

✔

Négyzet alakú hordozók

✔

✔

✔

✔

✔

✔

✔

✔

✔

✔

✔

✔

n/a

Szögpontosság
(3 szigma)

10 000 CPR kódoló

0.04°

n/a

0.06°

n/a

0.04°

24 000 CPR kódoló

0.02°

0.04°

0.02°

Centrálási pontosság
(3 szigma)

25 µm

50 µm

25 µm

Maximális kezdeti eltolás

10 mm

12 mm

9 mm

10 mm

1.7-2,0 mm

Test
méretek

W

173 mm

95 mm

173 mm

L

267 mm

317 mm

404 mm

266 mm

328 mm

267 vagy 317 mm

H

190 mm

191 mm

190-196 mm

Súly

5.0-5,7 kg

3.4-3,8 kg

5.3-6,0 kg

Szervo tengelyek

három

egy

három

A kezelése

vákuum tokmány és csapok

vákuumcsapágy

élkezelés

Szükséges létesítmények

100-240VAC, 50-60 Hz, 48 V A vagy 24 V DC/2A, vákuum 12" Hg vákuumtartáshoz

Host interfész

RS232, Ethernet

Lapos / rovátkolt kompatibilitás

SEMI szabványoknak megfelelő

Wafer átlátszatlanság

átlátszó, félig átlátszó és átlátszatlan

Tisztaság

1. osztály

MTBF

több mint 70000 óra