Kapcsolatfelvételisel Hungaria Kft. Zózsef A. utca 38
|
3 tengelyes Logosol Prealigner LPA sorozat "Standalone" (önálló)
Általános
- Innovatív all-in-one kialakítás
- Igazítási idő <3,5 másodperc
- Igazítási pontosság: lineáris 0,025 mm, körkörös 0,02°.
- Érintésmentes mérés LED és CCD érzékelő segítségével
- Integrált mérőelektronika
- Standalone-képes
- Chuck vagy pinload, valamint váltás másik ostyaméretre átalakítás nélkül
- Átlátszó, félig átlátszó, perforált és átlátszatlan ostyák igazíthatók egymáshoz
- SEMI, lapos és rovátkolt ostyákra vonatkozó előírások
- 2" és 18" közötti ostyaméretekhez
- Oldalsó és alsó csatlakozópanelek kaphatók
a 3 tengelyes előigazítók (önállóan működő) önállóan működő eszközök, amelyek 45 mm Ø - 480 mm Ø közötti ostyákat, valamint négyzet vagy téglalap alakú szubsztrátokat igazítanak ki nagy pontossággal, függetlenül azok átjárhatósági fokától. A különböző méretű tárgyak igazítása az előigazító mechanikus beállítása nélkül valósul meg. Az előigazító rendelkezik tokmánybetöltési és csapbetöltési üzemmóddal, valamint opcionális nagy pontosságú üzemmóddal, kétrétegű funkcióval (egymásra helyezett ostya) vagy külső érzékelőkkel az éljelzés érzékeléséhez. A tokmányon és a csapokon lévő vákuum segítségével az ostyát mindig biztonságosan tartják, és csak a hátoldalán érintik meg. A tokmány és a csapok, valamint a súrlódó tokmányok (vákuum nélkül) számos különböző érintkező anyaga választható. Mivel a 3 tengelyes előigazítók autonóm módon működnek, és RS232 és Ethernet interfésszel is rendelkeznek, az eszközök bármilyen általános robotrendszerbe integrálhatók.
Jellemzők
Jellemzők |
||||||||||||||
Műszaki adatok |
Prealigner modell |
|||||||||||||
Önálló |
Beágyazott |
Élkezelés |
||||||||||||
26-3 |
38-3 |
58-3 |
312-3 |
812-3 |
1218-3 |
25-1E |
38-1E |
58-1E |
312-1E |
812-1E |
1218-1E |
Típus |
||
Wafer |
2" |
✔ |
- |
- |
- |
- |
- |
✔ |
- |
- |
- |
- |
- |
|
3" |
✔ |
✔ |
- |
✔ |
- |
- |
✔ |
✔ |
- |
✔ |
- |
- |
||
100 mm |
✔ |
✔ |
- |
✔ |
- |
- |
✔ |
✔ |
- |
✔ |
- |
- |
4EH, 45EH |
|
125 mm |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
- |
- |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
- |
- |
5EH, 45EH, 56EH |
|
150 mm |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
- |
- |
- |
✔ |
✔ |
✔ |
- |
- |
6EH, 56EH |
|
200 mm |
- |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
- |
- |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
- |
8EH, 8ET |
|
300 mm |
- |
- |
- |
✔ |
✔ |
✔ |
- |
- |
- |
✔ |
✔ |
✔ |
12ET |
|
450 mm |
- |
- |
- |
- |
- |
✔ |
- |
- |
- |
- |
- |
✔ |
||
Négyzet alakú hordozók |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
n/a |
|
Szögpontosság |
10 000 CPR kódoló |
0.04° |
n/a |
0.06° |
n/a |
0.04° |
||||||||
24 000 CPR kódoló |
0.02° |
0.04° |
0.02° |
|||||||||||
Centrálási pontosság |
25 µm |
50 µm |
25 µm |
|||||||||||
Maximális kezdeti eltolás |
10 mm |
12 mm |
9 mm |
10 mm |
1.7-2,0 mm |
|||||||||
Test |
W |
173 mm |
95 mm |
173 mm |
||||||||||
L |
267 mm |
317 mm |
404 mm |
266 mm |
328 mm |
267 vagy 317 mm |
||||||||
H |
190 mm |
191 mm |
190-196 mm |
|||||||||||
Súly |
5.0-5,7 kg |
3.4-3,8 kg |
5.3-6,0 kg |
|||||||||||
Szervo tengelyek |
három |
egy |
három |
|||||||||||
A kezelése |
vákuum tokmány és csapok |
vákuumcsapágy |
élkezelés |
|||||||||||
Szükséges létesítmények |
100-240VAC, 50-60 Hz, 48 V A vagy 24 V DC/2A, vákuum 12" Hg vákuumtartáshoz |
|||||||||||||
Host interfész |
RS232, Ethernet |
|||||||||||||
Lapos / rovátkolt kompatibilitás |
SEMI szabványoknak megfelelő |
|||||||||||||
Wafer átlátszatlanság |
átlátszó, félig átlátszó és átlátszatlan |
|||||||||||||
Tisztaság |
1. osztály |
|||||||||||||
MTBF |
több mint 70000 óra |