Edge Handling Logosol Prealigner LPA-Series
Leírás
A Logosol előigazítók innovatív, nagy pontosságú, 1. osztályú, kompatibilis Logosol előigazító megoldások, integrált letapogató elektronikával.
A Logosol előigazítók a Logosol, Inc. szabadalmaztatott termékei. USAwww.logosolinc.com
Characteristics
- innovatív All-in-one-dizájn
- Alignment cycke timw < 3.5 másodperc
- Ismétlési pontosság: lineáris ±0,025 mm, körkörös ± 0,05°
- Érintésmentes mérés LED és CCD érzékelő segítségével
- Integrált letapogató elektronika
- önállóan is képes
- Chuck- vagy Pinload, valamint ostyaméret változtatás gépi változtatás nélkül
- átlátszó, félig átlátszó, lyukasztott és átlátszatlan ostyák igazíthatóak
- SEMI, Flat és Notch wafer specifikációk
- 2''-tól 12''-ig terjedő ostyaméretekhez
- Alulról és oldalról bevezetett kábelkonfigurációk
Az ezen az oldalon található információk a Logosol, Inc. kizárólagos tulajdonát képezik. www.logosolinc.com
|
Characteristics |
||||||||||||||
|
Specifications |
Logosol Prealigner model |
|||||||||||||
|
Standalone |
Embedded |
Edge handling |
||||||||||||
|
26-3 |
38-3 |
58-3 |
312-3 |
812-3 |
1218-3 |
25-1E |
38-1E |
58-1E |
312-1E |
812-1E |
1218-1E |
Type |
||
|
Wafer |
2" |
✔ |
– |
– |
– |
– |
– |
✔ |
– |
– |
– |
– |
– |
|
|
3" |
✔ |
✔ |
– |
✔ |
– |
– |
✔ |
✔ |
– |
✔ |
– |
– |
||
|
100 mm |
✔ |
✔ |
– |
✔ |
– |
– |
✔ |
✔ |
– |
✔ |
– |
– |
4EH, 45EH |
|
|
125 mm |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
– |
– |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
– |
– |
5EH, 45EH, 56EH |
|
|
150 mm |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
– |
– |
– |
✔ |
✔ |
✔ |
– |
– |
6EH, 56EH |
|
|
200 mm |
– |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
– |
– |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
– |
8EH, 8ET |
|
|
300 mm |
– |
– |
– |
✔ |
✔ |
✔ |
– |
– |
– |
✔ |
✔ |
✔ |
12ET |
|
|
450 mm |
– |
– |
– |
– |
– |
✔ |
– |
– |
– |
– |
– |
✔ |
||
|
Square substrates |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
✔ |
n/a |
|
|
Angular accuracy |
10 000 CPR encoder |
0.04° |
n/a |
0.06° |
n/a |
0.04° |
||||||||
|
24 000 CPR encoder |
0.02° |
0.04° |
0.02° |
|||||||||||
|
Centering accuracy |
25 µm |
50 µm |
25 µm |
|||||||||||
|
Max initial offset |
10 mm |
12 mm |
9 mm |
10 mm |
1.7 to 2.0 mm |
|||||||||
|
Body |
W |
173 mm |
95 mm |
173 mm |
||||||||||
|
L |
267 mm |
317 mm |
404 mm |
266 mm |
328 mm |
267 or 317 mm |
||||||||
|
H |
190 mm |
191 mm |
190 to 196 mm |
|||||||||||
|
Weight |
5.0 to 5.7 kg |
3.4 to 3.8 kg |
5.3 to 6.0 kg |
|||||||||||
|
Servo axes |
three |
one |
three |
|||||||||||
|
Handling |
vacuum chuck and pins |
vacuum chuck |
edge handling |
|||||||||||
|
Facilities required |
100-240VAC, 50-60 Hz, 48 V A or 24 V DC/2A, vacuum 12" Hg for vacuum retention |
|||||||||||||
|
Host interface |
RS232, Ethernet |
|||||||||||||
|
Flat / Notch compatibility |
SEMI standards compliant |
|||||||||||||
|
Wafer opacity |
transparent, semi-transparent and opaque |
|||||||||||||
|
Cleanliness |
class 1 |
|||||||||||||
|
MTBF |
more than 70000 hours |
|||||||||||||