Wafer érzékelők | Tartozékok

Wafer Mapping érzékelő IMS-MDW1

A kifejezetten a félvezetőipar számára kifejlesztett wafer mapping érzékelő a kettős háromszögelés elve alapján működik, és 45 mm-es mérési távolsággal rendelkezik. A fókuszáló kibocsátó optika és az újszerű, két szegmensből álló vevőelem garantálja az ostyák (> 3 hüvelyk) pontos helyzetének meghatározását, függetlenül azok vastagságától és bevonatától. A háromszögeléses fényérzékelő alkalmazásai közé tartozik a félvezető- és mikroelektronikai iparban a folyamattechnológia (pl. ostyabevonó és expozíciós gépek stb.).

Átmenő sugár érzékelő

Az átmenő sugárzású érzékelők használata, például egy lópatkó véghatású eszköz hegyében, alternatívája az általánosan alkalmazható fényvisszaverő térképező érzékelőknek. A módszer előnyei egyrészt a speciális fényvisszaverő vagy fényelnyelő bevonatokkal vagy anyagokkal szembeni érzéketlenség, valamint a hagyományos térképező érzékelőkhöz képest a költséghatékonyság. A kialakítás miatt azonban ez nem lehetséges minden véghatású eszközzel. Kérjük, vegye fel velünk a kapcsolatot a lehetséges megoldásokért, amelyeket a szabványokon kívül is meg tudunk valósítani.

Flip modul IFM-300-3

A Flip modul lehetőséget ad a felhasználónak arra, hogy az ostyákat és más szubsztrátokat fix szögben elforgassa anélkül, hogy le kellene tenni őket. Az állítható végállások, az elektronikus rámpák és a fokozatmentesen állítható sebességek használatával garantált a nagy pontosság. Szinte az összes véghatásmérő, valamint egy opcionális térképező érzékelő felszerelhető. A használat nem lehetséges minden robotmodellnél.

Kézi terminál IHT (szabványos vezérlő)

Az integrált szabványos vezérlő IHT kézi terminálja lehetővé teszi a felhasználó számára a terminálfunkció és a tanítási funkció (JOG üzemmód) közötti választást, valamint a robot számítógép nélküli programozását. A kompakt kialakításnak és a spirális kábelnek köszönhetően a felhasználó könnyebben mozoghat a rendszerben, és így saját maga állíthatja be a pozíciókat.

Tanító függő (fejlett vezérlő)

Az Advanced Controller Teach Pendant a legújabb fejlesztés a termékportfóliónkban. Lehetőséget nyújt a felhasználónak arra, hogy az ostyakezelőt egy másik személy nélkül, rendkívül precízen és biztonságosan mozgatja, valamint az állomásokat programozza vagy beállítsa. Az innovatív grafikus felhasználói felülettel ellátott 6,5"-os érintőkijelző intuitív és egyszerű munkát tesz lehetővé a felhasználó számára, és olyan softkey-kkel is fel van szerelve, amelyek lehetővé teszik például az egyes tengelyek és lépésszélességek kiválasztását. A legtöbb felhasználó azonban értékelni fogja a beépített kézikereket, amelyek jelentősen felgyorsítják az állomás beállítását. További fontos jellemzői a "holtpontkapcsoló", valamint a biztonságos sebesség fenntartása beállítási üzemmódban, amelyet az ipari robotok biztonsági irányelvei írnak elő. Ez biztosítja, hogy egy személy egyedül is biztonságosan taníthasson egy robotot közvetlenül a cellában.